华天科技有什么专利？
1、“一种集成电路制造过程中的等离子增强化学气相沉积设备”，专利号201310446899.4； 2、“一种集成电路CMP表面抛光用抛光液及其制备方法”，专利号ZL201510786392.9； 3、“一种用于IC制造的铝刻槽装置及方法”，专利号U S 2016/0259496 A1; 4、“一种集成电路制造用的反应炉及其中间体加工的方法”，专利号US2016/0379694 A1； 5、“具有内循环的芯片回收系统、方法和器件”，专利号 US 2016/0379713 A1
其他正在申请中的专利有： 1、“一种集成电路与器件及其生产的方法”，专利号201510446901.8； 2、“一种半导体器件及含有该半导体器件的电路结构”，专利号201511434194.6。